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J-GLOBAL ID：200903080510235761

透明導電膜および該透明導電膜を用いた透明基体

Inventor： 海老沢 純一 ,  佐藤 一夫 ,  光井 彰 ,  宮崎 正美
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994039968
Publication number (International publication number)：1995249316
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】【構成】ガリウムを亜鉛に対して0.1〜15原子%含有し、そのX線回折パターンにおいて(002)面による回折ピークを有し、該回折線の半値幅が1.2度以下であり、かつ、比抵抗が10-2Ω・cm以下で、膜厚が80nm〜5μmの範囲にある、酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜および該膜を用いた透明基体。【効果】従来の膜に比べて大気中での耐熱性が大幅に優れ、かつ導電性が改善される。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であって、該透明導電膜は、ガリウムを亜鉛に対して0.1〜15原子%含有し、そのX線回折パターンにおいて(002)面による回折ピークを有し、(002)面による回折線の半値幅が1.2度以下であり、かつ、該透明導電膜の比抵抗が10-2Ω・cm以下で、膜厚が80nm〜5μmの範囲にあることを特徴とする透明導電膜。

IPC (3)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/02 ,  C23C 14/08