搬送装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：立石篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996171789
Publication number (International publication number)：1997330975
Application date： Jun. 11, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】被搬送物体を非接触で保持しつつ位置制御を行いながら所望の位置に正確に搬送するようにする。【解決手段】ロードアーム48Aの浮上用電極対50、52、54は、所定の電位差を与えることによって静電吸引力を発生させ、ウエハWを吸引浮上して非接触で保持する。また、水平方向変位計68、70、72は、ロードアーム48Aに対するウエハWの位置を常時検出する。そして、制御装置は、水平方向変位計68、70、72によって検出されたウエハW位置に基づいて、水平方向駆動用電極対56、58、60に変動電位差を与えてウエハW内に電流を発生させるとともに、電位の変動タイミングに合わせて磁束の向きを変動させる交流磁場を磁石装置62、64、66で発生させ、その結果得られるローレンツ力によってウエハWを水平方向に駆動して位置制御を行い、所望の位置に搬送できるようにする。

Claim (excerpt)：

導電性を有する平板状の被搬送物体が搬送面に対して非接触で保持されて搬送される搬送装置であって、前記被搬送物体の上面に位置し、前記被搬送物体に対向してかつ相互に対峙して位置する電極対から成り、当該電極対間に与えられる電位差により前記被搬送物体の対向面に逆極性の電荷を誘起させる少なくとも1組の第1の電極対と;前記被搬送物体の上面に位置し、前記被搬送物体に対向してかつ相互に対峙して位置する電極対から成り、当該電極対間に与えられる電位差により前記被搬送物体の対向面に電流を生じさせる少なくとも3組の第2の電極対と;前記各第2の電極対によって前記被搬送物体内に生じる各電流と直交する方向の磁場を発生させる磁場発生手段と;前記被搬送物体の搬送面に対する2次元平面内の位置を計測する少なくとも3つの第1の変位計と;前記各変位計の出力に基づいて前記各第2の電極対に与える電位差と前記磁場の強さとを制御する制御手段とを有する搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/68 R , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 514 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-048175 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 三菱マテリアル株式会社
静電浮上リニアモータの案内支持機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-173881 Applicant：株式会社安川電機
特開昭62-130956

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