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J-GLOBAL ID：200903080524269952

力学量センサ

Inventor： 小林 真司
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334748
Publication number (International publication number)：1994180261
Application date： Dec. 15, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 耐衝撃性に優れ、かつ歩留まりの向上した力学量センサを提供する。【構成】 梁状構造体13の上下方向の変位を規制するように、固定電極33にストッパ31を設ける。これにより、梁状構造体13の基板11と逆側への変位が規制され、基板11から梁状構造体13が外れることがなくなり、落下などの衝撃にも耐える力学量センサが実現される。

Claim (excerpt)：

複数の腕部を有するリブ状の導電性の梁状構造体及び所定個数の固定電極が基板上に配置され、前記梁状構造体は、2点支持梁が形成されるよう前記腕部のうち少なくともいずれか2本の腕部の端部が基板上に支持されており、外力等の力学量によって前記固定電極との基板略平行方向の間隔が変化するよう、前記支持された以外の腕部が前記固定電極の間に宙支され、前記梁状構造体の腕と固定電極の間の静電容量の変化を検出することにより力学量を検出する力学量センサにおいて、前記梁状構造体の基板略垂直方向の変位を規制するよう前記固定電極のうちいずれかにストッパを設けたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (2)：

G01L 9/12 ,  G01P 15/125

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特表平4-504003
  
• 特開平4-313031
  
• 特開平4-115165
  
• 特表平4-504759
  
• 特開平4-130227