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J-GLOBAL ID：200903080536875874

微動位置決め制御装置

Inventor： 涌井 伸二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993170944
Publication number (International publication number)：1995005925
Application date： Jun. 18, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 位置センサとアクチュエータについてのコロケーションの条件を満たすことができないことによる不都合を解消する。【構成】 位置決めされる物体1と、少なくともその位置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータ2M,2R,2Lと、少なくともこの運動自由度分の剛物体の位置を検出する位置センサ3M,3R,3Lとを備え、前記位置センサのそれぞれの出力に基くフィードバック信号をフィードバックして前記アクチュエータを駆動する閉ループのフィードバック装置を備えた微動位置決め制御装置において、フィードバック装置は、前記剛物体の慣性主軸に関する変位ベクトルから前記位置センサによる計測点までの変換行列の逆行列を、前記変位ベクトルから前記アクチュエータによる駆動点までの変換行列の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する演算手段9を前記位置センサの出力側に備え、この演算手段の出力を前記フィードバック信号eM ,eR ,eL とするものである。

Claim (excerpt)：

並進1自由度と回転2自由度において位置決めされる平板状の基板と、前記基板の駆動用で慣性主軸を中心とした同心円上に配置される3個のアクチュエータと、前記各アクチュエータの近傍で、かつ前記慣性主軸を中心とする同心円上に配置されて前記基板の変位を計測する3個の位置センサと、前記位置センサの各出力に基づくフィードバック信号を指令電圧と比較して偏差信号を得、前置増幅器と補償器を介して電力増幅器を励磁して前記アクチュエータを駆動するフィードバック装置とを備えた微動位置決め制御装置において、フィードバック装置は、前記基板の前記慣性主軸に関する変位ベクトルから前記位置センサによる計測点までの変換行列の逆行列を、前記慣性主軸に関する前記変位ベクトルから前記アクチュエータによる駆動点までの変換行列の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する演算手段を前記位置センサの出力側に備え、この演算手段の出力を前記フィードバック信号とするものであることを特徴とする微動位置決め制御装置。