Pat

J-GLOBAL ID：200903080556752116

光散乱式広域粒子計測装置およびそれを用いた粒子計測方法

Inventor： 岩本 猛 ,  越中 昌夫 ,  小坂 宣之
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994013367
Publication number (International publication number)：1995218419
Application date： Feb. 07, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】高速移動する粒子または微小粒子を広域に渡って精度良く計測することが可能な粒子計測装置および計測方法を実現する。【構成】粒子の移動速度により厚さの制御されたシート状光ビームを粒子に照射し、このシート状光ビームのシート面と垂直方向に配置された粒子からの散乱光を検出するための光蓄積効果を有する2次元検出器であり、被計測面積がズーム機構を有する対物レンズにより制御された検出器において検出された光データを画像処理装置で特定の積算処理する。

Claim (excerpt)：

厚さの制御されたシート状光ビームを粒子に照射する手段、上記シート状光ビームのシート面と垂直方向に上記粒子により散乱された光を検出するための検出器とを備えた光散乱式広域粒子計測装置。

IPC (2)：

G01N 15/14 ,  G01N 15/02