欠陥検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997034707
Publication number (International publication number)：1998232122
Application date： Feb. 19, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】自動化による効率化を図ると共に、場所を取らない小型の欠陥検査装置を提供する。【解決手段】被検面を照明する第一照明光学系と、該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、前記被検面を照明する第二照明光学系と、該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、を備え、前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面は、前記被検面上に入射する前記第二照明光学系からの照明光線と前記被検面上で散乱され前記第二受光光学系へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わるようにした欠陥検査装置を提供する。

Claim (excerpt)：

被検面を照明する第一照明光学系と、該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、該第一受光光学系によって結像された像を撮影する第一撮像手段と、前記被検面を照明する第二照明光学系と、該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、該第二受光光学系によって結像された像を撮影する第二撮像手段と、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段にて得られた前記被検面の画像に基づいて画像処理を行う画像処理装置と、を備え、前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面は、前記被検面上に入射する前記第二照明光学系からの照明光線と前記被検面上で散乱され前記第二受光光学系へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (4)：

G01B 11/30 , G01B 11/00 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (5)：

G01B 11/30 D , G01B 11/00 G , G01B 11/00 H , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

欠陥検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-208886 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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