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J-GLOBAL ID：200903080567193631
ダイヤモンド複合膜およびダイヤモンド複合膜付部材
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994236508
Publication number (International publication number)：1996104597
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：
【要約】【目的】製造工程中や使用時おけるチッピングを減少させると同時に、使用時の性能を安定させることができるダイヤモンド複合膜およびダイヤモンド複合膜付部材を提供する。【構成】ダイヤモンド結晶層とダイヤモンド状炭素層とを交互に3層以上積層してなるもので、ダイヤモンド状炭素層がダイヤモンド結晶層よりも薄く、かつ、ダイヤモンド結晶層が3層以上形成されていることが望ましい。また、ダイヤモンド結晶層とダイヤモンド状炭素層とを交互に3層以上積層してなるダイヤモンド複合膜を、母材に接合してなるものである。
Claim (excerpt)：
ダイヤモンド結晶層とダイヤモンド状炭素層とを交互に3層以上積層してなることを特徴とするダイヤモンド複合膜。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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