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J-GLOBAL ID：200903080576888421

半導体製造装置管理方法とそのシステム

Inventor： 林 英明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994074687
Publication number (International publication number)：1995282146
Application date： Apr. 13, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造装置中の機械的な異常の発生箇所と異常内容とを早期に、しかも適切に検出し、オペレータに指示することができる半導体製造装置管理方法とそのシステムを提供する。【構成】 管理コンピュータは半導体製造装置に付加した各種センサー類より入手したI/Oデータから装置全体の動作タイミングを管理し、正常な状態と比較しタイミングの差が管理基準を越えた場合に警告を発生させ、信号をLANを介して接続されているワークステーション上の故障診断エキスパートシステムに送信し、診断結果を故障診断エキスパートシステムから受信し、オペレータに指示を出す。

Claim (excerpt)：

センサーを備えた半導体製造装置と、この半導体製造装置と通信回線を介して接続された管理コンピュータと、この管理コンピュータとLANを介して接続されたホストコンピュータと、前記管理コンピュータと前記ホストコンピュータとにLANを介して接続されたワークステーションとを具備することを特徴とする半導体製造装置管理システム。

IPC (2)：

G06F 17/60 ,  H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 生産機械の保守管理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-259571   Applicant：大日本印刷株式会社