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J-GLOBAL ID:200903080591225951
半導体有機ポリマーの堆積方法
Inventor:
,
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴木 弘男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995008019
Publication number (International publication number):1996015202
Application date: Jan. 23, 1995
Publication date: Jan. 19, 1996
Summary:
【要約】【目的】 優れた機械的特性を有し、長期間の安定性を有するガスセンサーに適した半導体有機ポリマーの製造方法を提供する。【構成】 半導体有機ポリマーの第一の層が、酸化剤をモノマーを含有する蒸気にさらすことにより重合され、そして半導体有機ポリマーの少なくとも一つの層が電気化学的に重合されたものであることを特徴とする半導体有機ポリマーの複数層を堆積する方法が開示されている。
Claim (excerpt):
半導体有機ポリマーの第一の層が酸化剤をモノマーを含有する蒸気にさらすことにより重合され、そして半導体有機ポリマーの少なくとも一つの層が電気化学的に重合されたものであることを特徴とする半導体有機ポリマーの複数層を堆積する方法。
IPC (3):
G01N 27/12
, B32B 27/06
, H01L 51/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平3-006217
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特開昭64-026138
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特開昭61-003040
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