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J-GLOBAL ID：200903080591389725

薄膜トランジスタの製造方法及び電気光学装置

Inventor： 小出 慎
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999201904
Publication number (International publication number)：2001036088
Application date： Jul. 15, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板のガラス引き出し方向に沿って「反り」や「うねり」があっても、ミラープロジェクション露光法で微細パターンを形成でき、しかも低コスト化を実現できる薄膜トランジスタや液晶表示装置の製造方法等を提供する。【解決手段】 スリットから熔融ガラスをシート状に引き出して形成したガラス基板においてガラスの引き出し方向に沿ってうねり、反りの生じている方向と、ミラープロジェクション型の露光機のスキャン方向とを合わせるとともに、スキャン方向に沿って逐次フォーカスを合わせながら露光を行う。

Claim (excerpt)：

基板上に薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタの製造方法において、熔融ガラスをシート状に引き出して形成した基板の引き出し方向と、リソグラフィー工程にて露光機のスキャン方向とがほぼ一致していることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。

IPC (5)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1365 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/027

FI (5)：

H01L 29/78 627 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/30 514 B ,  H01L 21/30 518

F-Term (69)：

2H092GA49 ,  2H092GA51 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA30 ,  2H092NA26 ,  2H092NA27 ,  2H092PA01 ,  2H092PA07 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092QA07 ,  2H092QA10 ,  5C094AA05 ,  5C094AA15 ,  5C094AA22 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EB02 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC15 ,  5F046DA07 ,  5F046DA14 ,  5F110AA02 ,  5F110AA09 ,  5F110AA17 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110HM17 ,  5F110NN03 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ11