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J-GLOBAL ID：200903080605564916
感光性樹脂層体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030133
Publication number (International publication number)：1997204049
Application date： Jan. 25, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：
【要約】【課題】露光時に露光エネルギー量の増減や温度変化によるパターン幅の細りや太りがなく、露光後のホールド時間に対するマージンが大きい上に、PEBの熱マージンの大きい感光性樹脂積層体を提供すること。【解決手段】支持体上に、光重合性感光層、および酸素遮断膜が順次積層された感光性樹脂層体において、前記酸素遮断膜が(イ)平均ケン化度70以上85%未満のポリ酢酸ビニル樹脂、および(ロ)平均ケン化度85以上100%以下のポリ酢酸ビニル樹脂で形成され、前記(イ)成分と(ロ)成分とのケン化度の差が絶対値で少なくとも5以上で、かつ(イ)成分と(ロ)成分との合計平均ケン化度および配合比が下記数1および数2で表わされる範囲にあることを特徴とする感光性樹脂層体。【数1】80≦a×A+b×B≦90【数2】0.25≦A/B≦4
Claim (excerpt)：
支持体上に、光重合性感光層、および酸素遮断膜が順次積層された感光性樹脂層体において、前記酸素遮断膜が(イ)平均ケン化度70以上85%未満のポリ酢酸ビニル樹脂、および(ロ)平均ケン化度85以上100%以下のポリ酢酸ビニル樹脂で形成され、前記(イ)成分と(ロ)成分とのケン化度の差が絶対値で少なくとも5以上で、かつ(イ)成分と(ロ)成分との合計平均ケン化度および配合比が下記数1および数2で表わされる範囲にあることを特徴とする感光性樹脂層体。【数1】80≦a×A+b×B≦90【数2】0.25≦A/B≦4
IPC (2)：
G03F 7/11 501
, G03F 7/00 503
G03F 7/11 501
, G03F 7/00 503
