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J-GLOBAL ID：200903080609846533

段差測定方法、スタンパ製造方法、スタンパ、光ディスク製造方法、光ディスク、半導体デバイス製造方法、半導体デバイス、および段差測定装置

Inventor： 潮 嘉次郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999347552
Publication number (International publication number)：2001221617
Application date： Dec. 07, 1999
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】 AFMで表面に凹凸が形成されている凹凸の段差を測定すると、プローブで表面を走査するため、測定に時間がかかる、プローブが破損する度にプローブを交換する必要がある、測定により被検面表面に傷が付くことがあるという問題がある。本発明は上記問題を解決し、測定時間を短縮し、消耗品の交換をほとんど必要とせず、測定により被検物体の表面に傷が付くことがない段差測定方法を提供する。【解決手段】 表面に凹凸が形成されている被検物体の表面の全体または一部分にプローブ光を照射する段階と、前記被検物体の表面からの反射光の分光反射率波形を測定する段階と、前記分光反射率波形と参照波形とのフィッティングを行うことによって、前記凹凸の段差を算出する段階とを有する段差測定方法を提供する。

Claim (excerpt)：

表面に凹凸が形成されている被検物体の表面の全体または一部分にプローブ光を照射する段階と、前記被検物体の表面からの反射光の分光反射率波形を測定する段階と、前記分光反射率波形と参照波形とのフィッティングを行うことによって、前記凹凸の段差を算出する段階とを有することを特徴とする段差測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/22 ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01B 11/22 G ,  G11B 7/26 ,  H01L 21/66 P

F-Term (49)：

2F065AA25 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065CC03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR06 ,  4M106AA01 ,  4M106AB20 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5D121AA02 ,  5D121CB08 ,  5D121CB09 ,  5D121GG02 ,  5D121HH09 ,  5D121HH15