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J-GLOBAL ID：200903080611299027

ワイヤーソー及びその製造方法

Inventor： 溝口 晃 ,  菅原 潤 ,  山中 正明 ,  小川 秀樹 ,  浦川 信夫
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社 ,  大阪ダイヤモンド工業株式会社
Agent (1)： 青木 秀實 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998239548
Publication number (International publication number)：2000052226
Application date： Aug. 10, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 シリコンウエハーのスライシング加工などのできるワイヤーソーを提供する。【解決手段】 銅メッキを施した高強度の芯線の外周面上に、砥粒とフィラーを混入した樹脂溶液を塗布した後、加熱して、該砥粒を芯線外周上にレジンボンドにより隆起、固着させることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

銅メッキを施した高強度の芯線の外周面を、粒子径がレジンボンド層厚の2/3以上でかつ芯線径の1/2以下である砥粒と、粒子径がレジンボンド層厚の2/3未満のフィラーとを、弾性率が100kg/mm2 以上で軟化温度が200°C以上である樹脂中に含有してなるレジンボンド層によって被覆してなることを特徴とするワイヤーソー。

IPC (6)：

B24B 27/06 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 ,  B28D 5/04

FI (6)：

B24B 27/06 H ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/00 330 G ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 G ,  B28D 5/04 C

F-Term (15)：

3C058AA05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA03 ,  3C063AA08 ,  3C063AB09 ,  3C063BA16 ,  3C063BA37 ,  3C063BB02 ,  3C063BB07 ,  3C063BB15 ,  3C063BC01 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB02 ,  3C069CA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ワイヤソー装置および磁気ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-003664   Applicant：株式会社日立製作所
• ワイヤソー用ワイヤ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-311187   Applicant：日立電線株式会社
• ワイヤーソー及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-330999   Applicant：旭ダイヤモンド工業株式会社
• ワイヤソー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-156152   Applicant：旭ダイヤモンド工業株式会社