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J-GLOBAL ID：200903080670392936

静電容量センサ及び静電容量センサ装置

Inventor： 中山 雄之
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995196863
Publication number (International publication number)：1997043187
Application date： Aug. 01, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 浮遊容量による電気的ノイズの影響を小さくして電気容量の測定が可能であり、大量の測定試料にセンサを挿入して測定を行う場合においても安定した測定が可能である静電容量センサを実現する。【解決手段】 絶縁基材11の表面に、一対の櫛歯状電極12,13を組み合わせて配置し、各櫛歯状電極12,13における両端の櫛歯部を、個別に設けられた電圧印加用端子12a,13a及び測定用端子12b,13bと接続して4端子構成にしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

絶縁基材の表面に、一対の櫛歯状電極を組み合わせて配置し、前記各櫛歯状電極における両端の櫛歯部を、個別に設けられた電圧印加用端子及び測定用端子と接続して4端子構成にしたことを特徴とする静電容量センサ。

IPC (3)：

G01N 27/22 ,  G01F 23/26 ,  G01R 27/26

FI (3)：

G01N 27/22 Z ,  G01F 23/26 A ,  G01R 27/26 C