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J-GLOBAL ID：200903080674425006

ヒートコンダクタ

Inventor： 天草 貴昭
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 田中 隆秀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997042686
Publication number (International publication number)：1998239224
Application date： Feb. 26, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【目 的】 試料ステージおよび試料ホルダに保持された試料の冷却および加熱を迅速に且つ熱効率良く行い、試料の温度調節を容易にすること。【構 成】 試料ホルダが装着される試料ステージに接続されるステージ側端部および冷熱源側に接続される冷熱源接続側端部26cを有するステージ側ヒートコンダクタと、冷熱源39に接続される冷熱源側端部42aおよびステージ側に接続されるステージ接続側端部42bを有し、ステージ接続側端部42bがステージ側ヒートコンダクタの冷熱源接続側端部26cから離れて配置された冷熱源側ヒートコンダクタ42と、前記離れて配置された冷熱源接続側端部26cおよびステージ接続側端部42bのうちの一方の接続側端部に一端が接続され、他方の接続側端部に着脱可能な連結部材46に他端が接続されたフレキシブルヒートコンダクタ44とから構成されるヒートコンダクタ。

Claim (excerpt)：

下記の要件を備えたことを特徴とするヒートコンダクタ、(A01)試料ホルダが装着される試料ステージに接続されるステージ側端部および冷熱源側に接続される冷熱源接続側端部を有するステージ側ヒートコンダクタ、(A02)冷熱源に接続される冷熱源側端部およびステージ側に接続されるステージ接続側端部を有し、前記ステージ接続側端部が前記ステージ側ヒートコンダクタの冷熱源接続側端部から離れて配置された冷熱源側ヒートコンダクタ、(A03)前記離れて配置された冷熱源接続側端部およびステージ接続側端部のうちの一方の接続側端部に一端が接続され、他方の接続側端部に着脱可能な連結部材に他端が接続されたフレキシブルヒートコンダクタ。

IPC (3)：

G01N 1/28 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/20

FI (4)：

G01N 1/28 W ,  G01N 37/00 A ,  H01J 37/20 E ,  G01N 1/28 K