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J-GLOBAL ID：200903080678571767

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 河辺 保雅 ,  山中 司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066322
Publication number (International publication number)：1996262719
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 安全性及び塗布性能に優れ、また、溶液の保存安定性が優れているので、保存中に感光剤の微粒子の析出や分解等が起きず、しかも、感度、解像力、プロファイル、耐熱性などに優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ポジ型感放射線性樹脂組成物が(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する酸分解性溶解阻止化合物および(d)プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートを含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する酸分解性溶解阻止化合物および(d)プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R