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J-GLOBAL ID：200903080691825417

光変調素子アレイ及びその製造方法

Inventor： 木村 宏一 ,  望月 文彦
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002382580
Publication number (International publication number)：2004212680
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】空隙を形成するための犠牲層の除去に伴う可動透明電極の膜減りや応力残留を抑え、可動部の変位動作を安定して行い得る光変調素子アレイ、並びに前記光変換素子アレイを得るための製造方法を提供する。【解決手段】透明基板1と、透明電極2とを有する基板と、基板上に空隙5を介在させて設けられ、基板とは反対側の面に透明電極7、更にその上に透光性を有する保護膜40を有する可撓薄膜からなる可動部8とを備え、両透明電極2,7との間に電圧を印加して静電気力により可動部8を基板側に変位させることにより、光源からの光を可動部8から外部に出射させる光変調素子を2次元マトリクス状に配列してなる光変調素子アレイ。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

透明電極を有する基板と、 前記基板上に空隙を介在させて設けられ、基板とは反対側の面に透明電極を有する可撓薄膜からなる可動部とを備え、 前記両透明電極との間に電圧を印加して静電気力により前記可動部を前記基板側に変位させることにより、光源からの光を前記基板及び前記可動部を透過させて外部に出射させる光変調素子を2次元マトリクス状に配列してなる光変調素子アレイにおいて、 前記可動部の透明電極の表面に、透光性を有する保護膜が成膜されていることを特徴とする光変調素子アレイ。

IPC (3)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (3)：

G02B26/08 A ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

F-Term (5)：

2H041AA14 ,  2H041AA18 ,  2H041AB40 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08