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J-GLOBAL ID：200903080693364182
垂直磁気記録媒体の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993333231
Publication number (International publication number)：1995192264
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 スパッタリング法を用いて、非磁性金属下地層を用いずに、高保磁力と高結晶配向性を兼ね備えた磁気ディスク用垂直磁気記録媒体を提供することにある。【構成】 非磁性基板上または非磁性基板上にあらかじめ軟磁性膜を施したものに、スパッタリング法を用いてCoCr系合金からなる垂直磁化膜を成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記基板温度を100°C以下の温度範囲に維持した状態でCoCr系合金からなる第1層を50Åから400Åの範囲の膜厚に成膜した後、前記基板温度を第1層の成膜時よりも高温に維持した状態で、前記第1層上にCoCr系合金からなる第2層を成膜することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
非磁性基板上または非磁性基板上にあらかじめ軟磁性膜を施したものに、スパッタリング法を用いてCoCr系合金からなる垂直磁化膜を成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、該基板温度を100°C以下の温度範囲に維持した状態でCoCr系合金からなる第1層を50Åから400Åの範囲の膜厚に成膜した後、該基板温度を第1層の成膜時よりも高温に維持した状態で、該第1層上にCoCr系合金からなる第2層を成膜することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
Patent cited by the Patent：
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