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J-GLOBAL ID：200903080698551142

レイアウト設計支援装置、コンピュータ読み取り可能な記録媒体

Inventor： 渡辺 和宗 ,  辻本 英二
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999067065
Publication number (International publication number)：2000260879
Application date： Mar. 12, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レイアウトパターンに対する補正結果と、この補正の検証結果とをレイアウトパターン設計者自身が設計中に逐次確認できるレイアウト設計支援装置、コンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供する。【解決手段】 縮小投影露光に使われるレチクルパターンを作成する設計支援装置であって、レイアウトパターンを作成するためのレイアウトエディタ1と、レイアウトパターンに対して補正および検証を行うためのOPC補正・検証装置2と、レイアウトパターン、補正および検証のデータを格納するためのデータベース3などから構成され、レイアウトエディタ1は、設計者がユーザインタフェースを通して操作することが可能とされ、レイアウトパターンを作成するための機能の他に、OPC補正・検証装置2の補正および検証を行うための機能を支援するために、画面上のメニューに補正・検証コマンドが追加されている。

Claim (excerpt)：

レイアウトパターンを作成するための作成手段と、前記作成手段を通して起動し、前記作成手段により作成されたレイアウトパターンに対して補正を行うための補正手段と、前記作成手段を通して起動し、前記補正手段により補正されたレイアウトパターンに対してシミュレーションを行い、前記補正されたレイアウトパターンと、対象物に形成されるべき目的のレイアウトパターンとの比較検証を行う検証手段とを含み、前記検証手段において、前記補正されたレイアウトパターンが、前記目的のレイアウトパターンに一致するまで、前記補正手段によりレイアウトパターンを補正することを特徴とするレイアウト設計支援装置。

IPC (3)：

H01L 21/82 ,  G03F 1/08 ,  G06F 17/50

FI (4)：

H01L 21/82 D ,  G03F 1/08 A ,  G06F 15/60 658 M ,  G06F 15/60 666 S

F-Term (12)：

2H095BA02 ,  2H095BB01 ,  5B046AA08 ,  5B046BA04 ,  5B046JA00 ,  5B046JA04 ,  5F064DD04 ,  5F064HH07 ,  5F064HH09 ,  5F064HH10 ,  5F064HH12 ,  5F064HH14