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J-GLOBAL ID：200903080733787081
凹凸欠陥検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高野 明近 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996101023
Publication number (International publication number)：1997287930
Application date： Apr. 23, 1996
Publication date： Nov. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】 被検査物に発生する欠陥が、特定の形状のものに限定されず、すべての凹凸状欠陥を的確に検出する。【解決手段】 異なる照明角度で照明した被検査物の多値画像データAと多値画像データBを、画像入力装置であるCCDカメラ1で検知し、各々画像データバッファAと画像データバッファBとに入力する。これら多値画像データAと多値画像データBとの画素信号の差を差分データ作成装置13で作成し、得られた差分データを圧縮処理14して記憶装置15に記憶する。画像処理装置16は以上の操作を連続して変えた照明角度のもとで繰り返えして行い、被検査物表面の欠陥部の大きさや形状等を選択的に検出して合否を判定する。
Claim (excerpt)：
照明装置から被検査物に照明光を照射して、該被検査物表面の多値画像データを画像入力装置に入力し、入力された該多値画像データを処理することにより前記被検査物表面の欠陥検査を行う凹凸欠陥検査装置において、前記被検査物に対する照明光の入射角度と、該被検査物に対する前記画像入力装置の受光角度のうち、少なくとも一つを変化させることにより照明角度又は受光角度を連続的に変化させる照明角度設定装置と、該照明角度設定装置による照明角度又は受光角度の変化に同期して前記被検査物の表面の多値画像データを連続的に入力する画像入力装置と、連続して入力された前記多値画像データを処理することにより該被検査物の良否を判定する画像処理装置とを備えることを特徴とする凹凸欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 C
, G01N 21/88 Z
