Pat

J-GLOBAL ID：200903080743012711

インクジェット記録ヘッドの製造方法

Inventor： 久保田 浩司
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 中村 恒久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994216926
Publication number (International publication number)：1996080614
Application date： Sep. 12, 1994
Publication date： Mar. 26, 1996
Summary：

【要約】【目的】 内部電極の不規則なピッチ寸法誤差を有する積層圧電セラミック板の加工を短時間、低コストで可能とする。【構成】 積層圧電セラミック板60の表面に光を照射し、反射光をCCD68により受光し、その受光出力より基準位置と内部電極32a〜32dのピッチを検出し、この検出信号に基づいて加工パターンの補正を行う。積層圧電セラミック板60の表面を感光性フィルム72にて被覆する。積層圧電セラミック板60の基準位置信号と補正された加工パターン出力に基づいて各内部電極間のフィルム72をレーザービームにてパターン露光する。パターン露光終了後に露光面を現像してフィルム72の不要部分を除去する。フィルム72の除去部分にブラスト機Cにより砥粒を吹き付けて切削加工を行う。切削加工後にフィルム72を除去する。

Claim (excerpt)：

複数枚の所定幅の圧電セラミック板をそれぞれ内部電極を介在させて積層焼結してなる電気機械変換素子部材の表面の所望の領域に対して、ブラスト手段により砥粒を吹き付けて切削加工を行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A