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J-GLOBAL ID：200903080744758571

放射線感応性樹脂組成物

Inventor： 小菅 眞樹 ,  伊東 敏雄
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993202342
Publication number (International publication number)：1995092677
Application date： Aug. 16, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 放射線に対して高い感度を有しかつ高解像度の新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 第1の成分として、分子量11500、分子量分散1.26のt-ブチルカルボニル化ポリ(ヒドロキシスチレン)0.15g、第2の成分として、4,4 ́-イソプロピリデンジフェノールt-ブチルカルボニル8.39mg、第3の成分として、トリフェニルスルホニウムトリフレート8.07mgをそれぞれ溶剤であるシクロヘキサノン1.0mlに溶解してレジスト液を調製する。

Claim (excerpt)：

第1成分としてフェノール樹脂、第2成分として溶解抑止剤及び第3成分として酸発生剤を含み、前記溶解抑止剤をフェノール類のt-ブトキシカルボニルエステルまたはフェノール類のt-ブチルエーテルとしたことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027