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J-GLOBAL ID:200903080755046980
超音波アクチュエータ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994050569
Publication number (International publication number):1995264880
Application date: Mar. 22, 1994
Publication date: Oct. 13, 1995
Summary:
【要約】【目的】全体の寸法を小型化することができ、かつ簡単な構成で容易な調整を行える安価な超音波アクチュエータを提供する。【構成】本発明の超音波アクチュエータは、電気-機械変換素子1が固定され、高周波電圧を印加することにより定在波振動を発生する共振器2と、この共振器2に対して相対的に移動する被駆動部材16と、共振器2を被駆動部材16に対して押圧力を付勢せしめる板状の付勢部材12と、を備えている。この付勢部材12と被駆動部材16との間に、付勢部材12の押圧力を調整するための機構13,14,15が設けられる。
Claim (excerpt):
電気-機械変換素子が固定され、高周波電圧を印加することにより定在波振動を発生する共振器と、前記共振器に対して相対的に移動する被駆動部材と、前記共振器を前記被駆動部材に押圧力を付勢せしめる板状の付勢手段と、前記付勢手段と前記被駆動部材との間に設けられ、前記押圧力を調整する調整手段と、を有する超音波アクチュエータ。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (11)
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特開平4-344181
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超音波モータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-048283
Applicant:株式会社ニコン
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特開平4-156282
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特開平3-230773
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XYテーブル装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-358403
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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特開平1-177874
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超音波振動子および超音波駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-324741
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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特開平4-347587
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超音波モータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-074568
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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超音波アクチュエータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-245391
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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特開平3-195377
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Cited by examiner (4)