Pat
J-GLOBAL ID:200903080756473440
金属材料表層の内部酸化層評価方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002179840
Publication number (International publication number):2004020519
Application date: Jun. 20, 2002
Publication date: Jan. 22, 2004
Summary:
【課題】金属材料の表層の内部酸化層における粒界酸化物の量を定量的に評価できるようにした金属材料表層の内部酸化層評価方法の提供。【解決手段】この発明は、金属材料の表面をスパッタリングし、このスパッタリングされた面の反射電子組成像を撮影し、この撮影した反射電子組成像に対して所定の画像処理を行い、金属材料の表層における粒内酸化と粒界酸化の状態に関する情報を得るようにしたものである。また、上記のスパッタリングの深さは、5μm以下であることが好ましい。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
金属材料の表面をスパッタリングし、このスパッタリングされた面の反射電子組成像を撮影し、この撮影した反射電子組成像に対して所定の画像処理を行い、前記金属材料の表層における粒内酸化と粒界酸化の状態に関する情報を得るようにしたことを特徴とする金属材料表層の内部酸化層評価方法。
IPC (3):
G01N1/28
, G01N23/20
, G01N33/20
FI (3):
G01N1/28 G
, G01N23/20
, G01N33/20 J
F-Term (27):
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001AA10
, 2G001AA20
, 2G001BA06
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001FA29
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001KA20
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001RA04
, 2G001RA20
, 2G052AA12
, 2G052EC14
, 2G052GA32
, 2G052GA35
, 2G052HC04
, 2G055AA01
, 2G055BA01
, 2G055BA20
, 2G055EA06
, 2G055FA06
Return to Previous Page