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J-GLOBAL ID：200903080756643222
固体撮像素子及びその製法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017855
Publication number (International publication number)：1993218372
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 集光レンズの集光性を高めて、受光部の実効的開口率を向上させると共に、再生画面の階調精度の向上及び画素の高集積化を促進させる。【構成】 シリコン基板1に選択的にpnフォトダイオードからなる受光部2がマトリクス状に配列されて形成され、このシリコン基板1上に、SiO2 等からなるゲート絶縁膜3を介して選択的に多結晶シリコン層からなる転送電極4が形成され、これら転送電極4上に層間絶縁膜5を介してAl遮光膜6が選択的に形成され、このAl遮光膜6を含む全面に平坦化用の層間膜7が積層され、更に、層間膜7上にマイクロ集光レンズ8が形成されたCCD固体撮像素子において、マイクロ集光レンズ8をダイヤモンドで形成する。
Claim (excerpt)：
受光部上に集光レンズが形成された固体撮像素子において、上記集光レンズがダイヤモンドで形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4)：
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H01L 27/148
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, H01L 27/14 B
