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J-GLOBAL ID：200903080771047296

走査型顕微鏡用探針の製造方法

Inventor： 山門 三奈
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993308226
Publication number (International publication number)：1995159421
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】走査型顕微鏡用探針の表面に生成した酸化膜を、探針の形状を変える事なく、容易に還元する方法を提供する。【構成】探針をアルカリ性の電解溶液中に浸漬し、探針を陰極に、対向電極を陽極にして直流電圧をかける。

Claim (excerpt)：

探針を電解溶液に浸漬し、該探針及び対向電極に電圧をかけることを特徴とする走査型顕微鏡用探針の製造方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28