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J-GLOBAL ID:200903080777005617

プラズマディスプレイパネルの製造方法および転写フィルム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006041853
Publication number (International publication number):2006268027
Application date: Feb. 20, 2006
Publication date: Oct. 05, 2006
Summary:
【課題】 ダイレクト・イメージング法によってもパターンを形成できる高感度を有し、作業性に優れ、さらにパターン形状に優れたPDPの構成要素(例えば、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス)を好適に形成することができるPDPの製造方法および当該製造方法に好適に用いられる転写フィルムを提供すること。【解決手段】 特定の光重合開始剤を含有するレジスト膜と、無機粉体含有樹脂層とを用いる。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基板上に無機粉体含有樹脂層を形成し、当該無機粉体含有樹脂層上に、下記式(1)で表される化合物、下記式(2)で表される化合物および下記式(3)で表される化合物を含有するレジスト膜を形成し、当該レジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成し、当該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させ、無機粉体含有樹脂層をエッチング処理してレジストパターンに対応する無機粉体含有樹脂層のパターンを形成し、当該パターンを焼成処理する工程を含む方法により、無機パターンを有するパネル材料を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (5):
G03F 7/031 ,  H01J 11/02 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/227 ,  G03F 7/004
FI (6):
G03F7/031 ,  H01J11/02 B ,  H01J9/02 F ,  H01J9/227 E ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512
F-Term (33):
2H025AA01 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025DA31 ,  2H025DA39 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  2H025FA35 ,  5C027AA01 ,  5C027AA09 ,  5C028FF11 ,  5C040GC19 ,  5C040GD09 ,  5C040GF19 ,  5C040GG09 ,  5C040GH03 ,  5C040GH07 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040JA19 ,  5C040KA16 ,  5C040MA22 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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