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J-GLOBAL ID：200903080783979267

SPM用探針の製造方法

Inventor： 小木曽 祥明 ,  梅原 康敏
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992268758
Publication number (International publication number)：1994114481
Application date： Oct. 07, 1992
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】 極めて尖鋭な探針を得る。【構成】 市販のAFM用カンチレバー探針の探針本体21の先端に、その軸心方向22と直角方向から電子ビーム23を真空中において照射し、探針本体21の先端に軸心方向に延長したカーボンの線状堆積体を作る(B)。その堆積体24に軸心方向から電子ビーム23を照射してカーボンを堆積して太らせる(C)。次に、径が0.4μmのイオンビームで堆積体24の端面を直径1μmの円形走査をして削って先端部を細くし(D)、その円形走査直径を0.5μmとして更に削って針状部とする(E)。

Claim (excerpt)：

真空中において探針基部の先端に、その突出方向とほぼ直角方向から電子ビームを照射して、上記先端にその突出方向に向かってカーボンを線状に堆積させ、その線状堆積体の先端面をイオンビームで円形走査して削って、先端部を針状に尖鋭化することを特徴とするSPM用探針の製造方法。

IPC (5)：

B21G 1/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28