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J-GLOBAL ID：200903080792048527
真空吸着用フィンガ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992040618
Publication number (International publication number)：1993212691
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で確実に空気流路を形成ししかも薄型化が図られる真空吸着用フィンガを提供する。【構成】 真空吸引用空気流路を構成するための溝4を有するフィンガ本体1と、該溝4を覆って空気流路を密封形成するための板材5と、該板材の外側面積より広い面積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本体1側に貼付され以て前記板材5をフィンガ本体1側に固定するためのシート材6とからなる真空吸着用フィンガ。
Claim (excerpt)：
真空吸引用空気流路を構成するための溝を有するフィンガ本体と、該溝を覆って空気流路を密封形成するための板材と、該板材の外側面積より広い面積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本体側に貼付され以て前記板材をフィンガ本体側に固定するためのシート材とからなることを特徴とする真空吸着用フィンガ。
IPC (4)：
B25J 15/06
, B65H 3/08 350
, B65H 5/14
, H01L 21/68
