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J-GLOBAL ID：200903080794189268
同軸型走査トンネル顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991199464
Publication number (International publication number)：1993040010
Application date： Aug. 08, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、探針を交換した場合にも、探針の先端を、容易に光学顕微鏡の観察視野の中心に、位置させることができる同軸型走査トンネル顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】探針を有する走査型トンネル顕微鏡部と、前記探針の先端像を観察するための光学顕微鏡部と、前記光学顕微鏡の結像の少なくとも一部を撮影し、観察画像とする撮影部とを有する同軸型走査トンネル顕微鏡において、前記撮影部を前記探針の軸方向に対して垂直な方向に移動する位置合わせ手段を有することを特徴とする同軸型走査トンネル顕微鏡。
Claim (excerpt)：
探針を有する走査型トンネル顕微鏡部と、前記探針の先端像を観察するための光学顕微鏡部と、前記光学顕微鏡の結像の少なくとも一部を撮影し、観察画像とする撮影部とを有する同軸型走査トンネル顕微鏡において、前記撮影部を前記探針の軸方向に対して垂直な方向に移動する位置合わせ手段を有することを特徴とする同軸型走査トンネル顕微鏡。
IPC (2)：
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