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J-GLOBAL ID：200903080804177794
硬質多層膜形成体およびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小松 秀岳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992205042
Publication number (International publication number)：1994049645
Application date： Jul. 31, 1992
Publication date： Feb. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 耐摩耗性、自己潤滑性および耐熱性の改善された硬質多層膜形成体を提供するものである。【構成】 基材表面にチタン化合物系硬質耐摩耗性被膜層、シリコンを含有する硬質カーボン層を順次形成してなるもので、各層はプラズマCVD法によりまず第一層を400〜550°Cの温度で形成し、つぎに真空を維持したままテトラメチルシランあるいはテトラエチルシラン又はそれにハイドロカーボン又は/および水素を混合した原料ガスを導入し550°C以下の温度で圧力0.05〜0.5torrで第2層を形成する。
Claim (excerpt)：
基材表面にチタン化合物系硬質耐摩耗性被膜層、シリコンを含有する硬質カーボン層を順次形成してなることを特徴とする硬質多層膜形成体。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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