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J-GLOBAL ID：200903080805022174

紫外線照射装置

Inventor： 徳村 勝也
Applicant, Patent owner： 株式会社テクノ・プレックス
Agent (1)： 加藤 雄二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000346767
Publication number (International publication number)：2002148396
Application date： Nov. 14, 2000
Publication date： May. 22, 2002
Summary：

【要約】【解決手段】 紫外線照射ランプ1は、ケース2の内部に収納され、その直下に、ワーク3が配置されている。ワーク3はクリーニング処理の対象物である。紫外線照射ランプ1とワーク3との間には、紫外線導入セル4を配置し、内部には窒素が封入されている。その入射壁5は、紫外線照射ランプ1の形状にほぼ一致する凹凸面を形成し、出射壁6は、対象物であるワーク3の紫外線被照射面に沿う凹凸面を有する。【効果】 紫外線が、紫外線導入セル4を出射してワーク3の被照射面に達するまでの距離がどの部分でもほぼ等しく、照射される紫外線のエネルギーがほぼ均一になる。

Claim (excerpt)：

紫外線照射ランプと、上記紫外線照射ランプの発する紫外線の照射を受けて処理される対象物を配置する照射部と、上記紫外線照射ランプの発光面に沿う凹凸面を有する入射壁を紫外線照射ランプに対向配置し、上記対象物の被照射面側に出射壁を対向配置して、上記入射壁と出射壁とに包囲された空間に不活性ガスを封入して、上記紫外線照射ランプと照射部との間に配置した、紫外線導入セルを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (3)：

G21K 5/00 ,  H01L 21/26 ,  H01L 21/304 645

FI (6)：

G21K 5/00 Z ,  G21K 5/00 B ,  G21K 5/00 W ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/26 G ,  H01L 21/26 J