マルチチヤンバ型枚葉処理方法およびその装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991215576
Publication number (International publication number)：1993055148
Application date： Aug. 27, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】パーティクルに強く、しかもより高能率で的確な処理を行うことができるばかりでなく、装置としてのコンパクト化を図ることができるようにしたものを提供する。【構成】独立して所定の圧力または雰囲気に制御可能な出入口ポート20とプラットフォーム30と複数の処理チャンバ50a,50bとを備え、各処理チャンバでの被処理材の処理を互いにタイミングをずらして行い、各処理チャンバでの処理中に第1ゲートバルブ21を開いて出入口ポートと大気側との間で被処理材の受渡しを行い、出入口ポート内の圧力または雰囲気をプラットフォーム内のそれにほぼ等しくした後に第2ゲートバルブ31を開くとともに、処理終了後の処置チャンバに接続された第3ゲートバルブ51aまたは51bを開いて該処理チャンバ内の被処理材と出入口ポート内の被処理材との受渡しを行う。

Claim (excerpt)：

第1ゲートバルブを介して大気側に開閉可能で、独立して所定の圧力または雰囲気に制御可能な出入口ポートと、この出入口ポートに第2ゲートバルブを介して接続され、独立して所定の圧力または雰囲気に制御可能なプラットフォームと、このプラットフォームに第3ゲートバルブを介して個別に接続され、夫々独立して所定の圧力または雰囲気に制御可能な複数の処理チャンバとを備え、前記プラットフォーム内に設けられたロボットにより前記出入口ポートと前記各処理チャンバとの間で被処理材を搬送して処理するマルチチャンバ型枚葉処理装置における枚葉処理方法であって、前記各処理チャンバ内での被処理材の処理を互いにタイミングをずらして行うとともに、この各処理チャンバでの処理中に前記第1ゲートバルブを開いて前記出入口ポートと大気側との間で処理済の被処理材と未処理の被処理材との少なくとも1枚ずつの受渡しを行い、前記第1ゲートバルブを閉じて前記出入口ポート内の圧力または雰囲気を前記プラットフォーム内の圧力または雰囲気とほぼ等しくした後に前記第2ゲートバルブを開くとともに、いずれか1つの処置チャンバにおける処理終了後に該処置チャンバとプラットフォームとを接続する第3ゲートバルブを開いて該処理チャンバ内の処理済の被処理材と出入口ポート内の未処理の被処理材との少なくとも1枚ずつの受渡し行うことを特徴とするマルチチャンバ型枚葉処理方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-153271
特開平3-273606
特開平3-135021

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