Pat

J-GLOBAL ID：200903080805494637

転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法

Inventor： 内藤 勝之
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000293621
Publication number (International publication number)：2002100038
Application date： Sep. 27, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ナノインプリンティングにおいて、原盤と基板のアライメントが容易であり、原盤や基板を短時間で加熱・冷却ができ、また基板と原盤の剥離が容易である転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法を提供すること。【解決手段】 情報に相当するパターンを有する原盤11を保持する原盤保持手段10と、原盤11の前記パターンが転写される基板13を保持する基板保持手段12と、原盤11と基板13間を固定する固定手段と、原盤11と基板13間に圧力を印加する圧力印加手段とを備え、原盤保持手段10と基板保持手段12と固定手段とは一体となって圧力印加手段に対して脱着可能に構成されていることを特徴とする転写装置。

Claim (excerpt)：

情報に相当するパターンを有する原盤を保持する原盤保持手段と、前記原盤の前記パターンが転写される基板を保持する基板保持手段と、前記原盤と前記基板間を固定する固定手段と、前記原盤と前記基板間に圧力を印加する圧力印加手段とを備え、前記原盤保持手段と前記基板保持手段と前記固定手段とは一体となって前記圧力印加手段に対して脱着可能に構成されていることを特徴とする転写装置。

IPC (5)：

G11B 5/86 101 ,  G11B 5/86 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/26 531

FI (5)：

G11B 5/86 101 A ,  G11B 5/86 101 B ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/26 531

F-Term (16)：

5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA10 ,  5D112GB05 ,  5D112GB10 ,  5D112KK02 ,  5D121AA02 ,  5D121AA03 ,  5D121BA01 ,  5D121DD06 ,  5D121DD11 ,  5D121DD13 ,  5D121DD18 ,  5D121GG07 ,  5D121GG10 ,  5D121JJ03