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J-GLOBAL ID：200903080819682827
珪素材料中の不純物分析方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001071678
Publication number (International publication number)：2002267634
Application date： Mar. 14, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、従来検出限界とされた測定限界が100ppb以下のAs等の分析を可能とする珪素材料中の不純物分析方法を提供することにある。【解決手段】 過マンガン酸カリウム溶液を被分析不純物含有の珪素材料に接触させた後、硝酸及びフッ化水素酸溶液を接触させて加熱処理し、珪素材料を被分析不純物と共に溶解させた試料溶液を得る第1工程と、この試料溶液に過酸化水素及び硝酸を添加して不要元素を陰イオン分子にする第2工程と、陰イオン分子を陽イオン交換樹脂に吸着させ残りの分離溶液を得る第3工程と、この分離溶液中の不純物を質量分析する第4工程から成る珪素材料中の不純物分析方法。
Claim (excerpt)：
過マンガン酸カリウム溶液、過ヨウ酸カリウム溶液、及び過ヨウ素酸溶液から選ばれる試薬を被分析不純物含有の珪素材料に接触させた後、硝酸及びフッ化水素酸溶液を接触させて加熱処理し、前記珪素材料を前記被分析不純物と共に溶解させた試料溶液を得る第1工程と、この試料溶液に過酸化水素及び硝酸を添加して前記試薬を構成するマンガン、カリウム及びヨウ素をイオンにする第2工程と、前記試料溶液をイオン交換樹脂と接触させて前記イオンを前記イオン交換樹脂に吸着させ残りの分離溶液を得る第3工程と、この分離溶液に存在する前記被分析不純物を質量分析方法にて検出する第4工程とを具備することを特徴とする珪素材料中の不純物分析方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 27/62 V
, G01N 31/00 Y
2G042AA01
, 2G042BA20
, 2G042CA03
, 2G042CB06
, 2G042DA03
, 2G042DA08
, 2G042FA01
, 2G042FA04
, 2G042GA01
Cited by applicant (3)
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オンライン干渉成分除去装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-180048
Applicant：工業技術院長
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セレンの分析方法及びセレンの分析装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-156668
Applicant：栗田工業株式会社
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不純物分析試料用容器
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-070591
Applicant：東芝セラミックス株式会社
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