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J-GLOBAL ID：200903080843335577

プローブの製造方法

Inventor： 大澤 日佐雄 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992281720
Publication number (International publication number)：1994130302
Application date： Oct. 20, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】理想的な形状を有するプローブを容易に製造する。【構成】酸化ゲルマニウムを3〜28mol%添加した石英コア(1)と、光ファイバーの半径を1としたとき、半径0.3〜0.6に位置する境界より内側に当たるクラッドA(2)と、それより外側に当たるクラッドB(3)からなり、前記クラッドB(3)に0.5〜10 mol%の酸化リンが添加されている前記光ファイバーを「濃度50重量%のフッ酸水溶液、水、40重量%のフッ化アンモニウム水溶液」の成分比を変化させエッチングを行う。また、クラッドA(2)及びクラッドB(3)への添加物、その添加量、添加位置を変化させた光ファイバーを用いる。【効果】化学エッチングだけで理想的な形状のフォトン走査型トンネル顕微鏡用プローブが再現性よく得られ、観察する試料の表面形状によらず高い分解能を得ることができる。更に、長時間の観察が可能になった。

Claim (excerpt)：

3〜28mol %の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、光ファイバーの半径を1としたとき、半径0.3〜0.6に位置する境界より内側に当たるクラッドAと、それより外側に当たるクラッドBからなり、前記クラッドBに0.5〜10mol %の酸化リンが添加されている前記光ファイバーを「濃度50重量%のフッ酸水溶液:1容量部、水:1容量部、濃度40重量%のフッ化アンモニウム水溶液:Y容量部(Y=4〜15)からなるエッチング液」でエッチングすることを特徴とするプローブの製造方法。