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J-GLOBAL ID：200903080858448475

高α型窒化ケイ素の製造方法

Inventor： 藤井 秀紀 ,  進藤 敏彦
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995042511
Publication number (International publication number)：1996217425
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Aug. 27, 1996
Summary：

【要約】【構成】 金属ケイ素を窒素源を含む反応ガスで直接窒化して窒化ケイ素を製造する方法において、α化促進触媒を液状にして金属ケイ素に均一混合した後、直接窒化することを特徴とする高α窒化ケイ素の製造方法。【効果】 本発明の高α型窒化ケイ素の製造方法によれば、金属ケイ素と上記触媒とを粉同志で混合するのに比べ、触媒が極めて均一に分散して触媒効果を向上し得、このため触媒の使用量を減らすことができる上、得られる窒化ケイ素へのコンタミネーションを最小限に抑えることもできるもので、従って、低温で反応性良く極めて効率的に高α型窒化ケイ素を製造することができる。

Claim (excerpt)：

金属ケイ素を窒素源を含む反応ガスで直接窒化して窒化ケイ素を製造する方法において、α化促進触媒を液状にして金属ケイ素に均一混合した後、直接窒化することを特徴とする高α窒化ケイ素の製造方法。

IPC (5)：

C01B 21/068 ,  B01J 23/72 ,  B01J 27/055 ,  B01J 27/122 ,  B01J 27/138

FI (5)：

C01B 21/068 D ,  B01J 23/72 M ,  B01J 27/055 M ,  B01J 27/122 M ,  B01J 27/138 M