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J-GLOBAL ID:200903080866246857
セラミックスヒーター
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
上代 哲司 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997212365
Publication number (International publication number):1999054245
Application date: Aug. 07, 1997
Publication date: Feb. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 安価な構造であり、流体を介し被加熱体を高速加熱できかつ高速均熱化の可能なセラミックスヒーターを提供する。【解決手段】 電気絶縁性のセラミックス基板上に発熱体を具備たセラミックスヒーターであり、その伝熱面によって直接加熱される被加熱体が流体であり、その伝熱面の表面粗さがRaで0.3μm以上のものであり、さらには同表面粗さがRaで2μmを越えるものである。
Claim (excerpt):
電気絶縁性のセラミックス製基板上に発熱体を具備してなるセラミックスヒーターであって、当該セラミックスヒーターの伝熱面によって直接加熱される被加熱体が流体であり、当該セラミックスヒーターの伝熱面の表面粗さがRaで0.3μm以上であることを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (4):
H05B 3/16
, H05B 3/14
, H05B 3/20 393
, H05B 3/46
FI (4):
H05B 3/16
, H05B 3/14 B
, H05B 3/20 393
, H05B 3/46
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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特開昭58-140550
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特開平4-032184
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遠赤外線放射体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-031089
Applicant:株式会社フジクラ, スカイアルミニウム株式会社
-
特開昭62-229782
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セラミックスヒータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-341192
Applicant:川崎製鉄株式会社
-
ヒーターおよびそれを備えた加熱定着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-284999
Applicant:住友電気工業株式会社
-
複層セラミックスヒーター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-312899
Applicant:信越化学工業株式会社
-
静電チャック付セラミックスヒーター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-316374
Applicant:信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社
-
セラミック発熱体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-009346
Applicant:京セラ株式会社
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