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J-GLOBAL ID：200903080885610586

感放射線性組成物

Inventor： 浦野 年由 ,  檜野 悦子 ,  横尾 敏明 ,  新実 高明 ,  藤田 淳
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997189479
Publication number (International publication number)：1999038604
Application date： Jul. 15, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 感度、解像力及び耐熱性の良好な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 塗膜形成性樹脂、露光により酸を発生するビススルホニルジアゾメタン化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物において、ビススルホニルジアゾメタン化合物が下記一般式(A1)〜(A3)で表わされる化合物であり、塗膜形成性樹脂が少なくともヒドロキシ(メチル)スチレン30〜90モル%と酸により脱離する下記一般式(1)又は(2)(式中、X1 〜X5 は独立に水素原子、炭素数1〜4のアルキル基またはアルコキシ基であり、X1 とX3 は結合して環を形成しても良い。X6 は炭素数1〜10のアルキル基を表わす。)で表わされる基で保護されたヒドロキシ(メチル)スチレン10〜60モル%を含有し、重量平均分子量(Mw)が2000〜70000のヒドロキシ(メチル)スチレン共重合体である。

Claim (excerpt)：

塗膜形成性樹脂、露光により酸を発生するビススルホニルジアゾメタン化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物において、ビススルホニルジアゾメタン化合物が下記一般式(A1)〜(A3)で表わされる化合物であり、【化1】(式中、R1 及びR3 は置換されていても良い脂肪族アルキル基を表わし、R2はハロゲン原子、置換されていても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を表わし、R4 、R5 、R6 はそれぞれ独立に置換されていても良いアルキル基、ハロゲン原子、置換されていても良いアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を表わし、R7 は置換されていても良いアルコキシル基、R8 〜R10はそれぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、置換されていても良いアルコキシ基、置換されていても良いアルキル基、ニトロ基、シアノ基、ニトリル基又はアミド基を表わす。)塗膜形成性樹脂が少なくともヒドロキシ(メチル)スチレン30〜90モル%と酸により脱離する下記一般式(1)又は(2)【化2】(式中、X1 〜X5 は独立に水素原子、炭素数1〜4のアルキル基またはアルコキシ基であり、X1 とX3 は結合して環を形成しても良い。X6 は炭素数1〜10のアルキル基を表わす。)で表わされる基で保護されたヒドロキシ(メチル)スチレン10〜60モル%を含有し、重量平均分子量(Mw)が2000〜70000のヒドロキシ(メチル)スチレン共重合体であることを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R