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J-GLOBAL ID：200903080885813525

冷却装置

Inventor： 岩谷 伸雄
Applicant, Patent owner： 株式会社デンコー
Agent (1)： 逢坂 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993351634
Publication number (International publication number)：1995198240
Application date： Dec. 29, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【構成】 炉2の内部上下に加熱冷却板4を配設し、加熱冷却板4に面状ヒータ5及び冷媒導通管6を蛇行させて内設し、更にこの内側面には遠赤外線放射材層7を形成する。そして、電源スイッチ12及びサイリスタ13によって面状ヒータ5を作動させ、水微粒化ガス混合器8によりガスと霧化した水との混合物を冷媒導通管6内へ流入させて冷却し、冷媒は気水分離器11によって再びガスと水とに分離される。【効果】 加熱された面に水を直接触れさせることがなく、霧状の水とガスとの混合物での霧状水の気化による冷却作用であるので、水蒸気爆発の危険性がなく、冷却特性が良く、急速冷却が可能なことから、運転効率が高められて生産性が向上する。

Claim (excerpt)：

霧化した液体と気体とが混合してなる熱媒体を導通する熱媒体導管を有する冷却装置。

IPC (3)：

F25D 7/00 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/00 330

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-008674
  
• ウエハ加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-015562   Applicant：富士通株式会社
• 特開昭62-183513