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J-GLOBAL ID：200903080897501430

薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー

Inventor： 藤生 尚光 ,  野村 達士
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993180534
Publication number (International publication number)：1995035540
Application date： Jul. 22, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 信頼性の高い圧電薄膜型変位センサー付きカンチレバーを提供する。【構成】 鉛系強誘電薄膜をカンチレバー上に結晶学的に配向させて成膜することにより、分極しなくても圧電効果が得られる。

Claim (excerpt)：

可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなり、前記可撓性プレート上に下部電極、圧電特性を持つ鉛系強誘電体中間層、及び上部電極からなる薄膜型変位センサーを取り付けたカンチレバーにおいて、前記強誘電体中間層が結晶学的に配向したものであることを特徴とするカンチレバー。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28