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J-GLOBAL ID:200903080898898708

洩れ検査装置の温度測定方法及びこの温度測定方法を用いて温度補正する洩れ検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 草野 卓 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998275104
Publication number (International publication number):2000105165
Application date: Sep. 29, 1998
Publication date: Apr. 11, 2000
Summary:
【要約】【課題】 被検査体に空気圧を印加し、その印加した空気圧が所定の時間一定値を維持するか否かにより被検査体に洩れがあるか否かを検査する洩れ検査装置において、被検査体が持つ温度によって空気が膨張、又は収縮することによって発生するドリフト値を正確に算出する温度測定法方を提案する。【解決手段】 被検査体に空気圧を印加する加圧通路及び排気通路に温度センサを装着し、この温度センサにより加圧時の空気の温度と排気時の空気の温度を測定し、この温度差からドリフト補正値を算出する。
Claim (excerpt):
被検査体に正又は負の空気圧を与え、この空気圧が一定値を維持するか否かを測定して被検査体に洩れが有るか否かを検査する洩れ検査装置において、上記被検査体に空気圧を与える加圧通路及び、上記被検査体に与えた空気圧を被検査体から開放する排気通路に温度センサを装着し、この温度センサによって加圧時に上記被検査体に与える空気の温度及び上記被検査体から開放される空気の温度をそれぞれ測定することを特徴とする洩れ検査装置の温度測定方法。
FI (2):
G01M 3/26 A ,  G01M 3/26 K
F-Term (5):
2G067BB28 ,  2G067DD02 ,  2G067DD03 ,  2G067DD08 ,  2G067EE10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開昭59-206737
  • 特開平4-132926
  • 特開昭64-044824

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