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J-GLOBAL ID：200903080910224602

光学顕微鏡

Inventor： 首藤 広 ,  石田 高弘
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 田治米 登 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992191557
Publication number (International publication number)：1994011652
Application date： Jun. 24, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電気伝導体表面上に存在する絶縁性領域を選択的に検出できるようにして絶縁性領域の存在認識の精度を向上させる。【構成】 光源4からの光をハーフミラー5により反射させ、その反射光を対物レンズ6を通して試料8に照射し、試料8からの反射光を対物レンズ6とハーフミラー5とを通過させた後にその光をCCDカメラ7で検出する光学顕微鏡において、光源4からの光を偏光するために光源4とハーフミラー5との間にポラライザ9を配設し、且つハーフミラー5を通過した試料8からの反射光を偏光できる位置に、ポラライザ9の偏光方向と直交するような偏光方向を有するアナライザ10を配設する。この場合、ポラライザ9及びアナライザ10の偏光方向を互いに直交させるために、ポラライザ9とアナライザ10とを互いに連動して回転させるドライバ11を設けることが好ましい。

Claim (excerpt)：

光源からの光をハーフミラーにより反射させ、その反射光を対物レンズを通して試料に照射し、試料からの反射光を対物レンズとハーフミラーとを通過させた後にその光を観察する光学顕微鏡において、光源からの光を偏光するために光源とハーフミラーとの間にポラライザを配設し、且つハーフミラーを通過した試料からの反射光を偏光できる位置に、ポラライザの偏光方向と直交するような偏光方向を有するアナライザを配設することを特徴とする光学顕微鏡。