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J-GLOBAL ID：200903080949714771

ダイシング用テープおよびこれを用いた材料切断方法

Inventor： 村松 茂次
Applicant, Patent owner： 新光電気工業株式会社
Agent (1)： 綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993069740
Publication number (International publication number)：1994283600
Application date： Mar. 29, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 厚くて切断しにくい材料であっても、バラバらにせずに伸展性テープ上に保持した状態で切断が可能。【構成】 伸展性テープ22に接着剤26により支持部材24を貼着したダイシング用テープ20を用い、該ダイシング用テープ20の支持部材24上に切断材料30を接着剤28により固定し、切断材料30を切断して個片に形成し、次いで伸展性テープ22を伸展させて切断した材料30の個片間に隙間をあける。

Claim (excerpt)：

伸展性テープに、切断材料固定用、かつ切り込み用の支持部材を接着剤により貼着したことを特徴とするダイシング用テープ。

IPC (3)：

H01L 21/78 ,  B28D 5/00 ,  B28D 7/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-064240
  
• LCフイルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-235580   Applicant：テイーデイーケイ株式会社