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J-GLOBAL ID：200903080963885414
感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991259431
Publication number (International publication number)：1993100428
Application date： Oct. 07, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：
【要約】【構成】 (a) 活性水素含有ビニルエーテル化合物とイソシアナート基を有する化合物との反応生成物であるビニルエーテル基含有化合物と、(b)活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(c)アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【効果】 高い感光性を有し、かつ、広範囲の波長光の使用が可能である。
Claim (excerpt)：
(a) 活性水素含有ビニルエーテル化合物とイソシアナート基を有する化合物との反応生成物であるビニルエーテル基含有化合物と、(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039
, G03F 7/029
, H01L 21/027
