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J-GLOBAL ID:200903081000951442

電子放出用電極の製造方法及びその電子放出用電極を用いた発光パネル

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993098964
Publication number (International publication number):1994236732
Application date: Mar. 31, 1993
Publication date: Aug. 23, 1994
Summary:
【要約】【目的】 電子放出特性の良好なペロブスカイト型電子放出用電極を簡単、かつ安価に製造できる電子放出用電極の製造方法及びそれを用いた発光パネルを提供することを目的とする。【構成】 溶融工程(ステップS1)で、R(NO3)3・nH2O で表される希土類硝酸塩とSr(NO3)2及びMn(NO3)3・nH2O 又はCo(NO3)3・nH2O の3種類の硝酸塩をエタノール等の有機溶媒に溶融し、塗布工程(ステップS2)で、この溶液をNi基板に所定量塗布する。乾燥工程(ステップS3)で、この基板を塗布面を上にして真空容器中に入れ、左右方向等に繰り返し傾倒させて溶液を基板上に均一な厚さに平坦化させつつ乾燥させる。この乾燥工程で、必要に応じて300°Cで予備反応させる。加熱工程(ステップS4)で、基板を電気炉内に入れ、750°Cで2時間加熱し、溶液中の硝酸塩からNO3等を取り除いてペロブスカイト型複合酸化物を形成する。
Claim (excerpt):
少なくとも希土類元素を含有する硝酸塩を1種類含む3種類の硝酸塩を所定の溶媒に溶融する溶融工程と、前記溶融工程で作成した溶液を仕事関数の小さい基板上に塗着する塗着工程と、前記塗着工程で前記溶液を塗着した基板を真空中で乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥工程で乾燥させた基板の溶液を加熱する加熱工程と、を順次行なうことにより、基板上に電子放出用電極を形成することを特徴とする電子放出用電極の製造方法。
IPC (2):
H01J 9/02 ,  H01J 1/30
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
  • 特開昭62-246221
  • 特開昭63-314741
  • 特開平1-213930
Cited by examiner (3)
  • 特開昭62-246221
  • 特開昭63-314741
  • 特開平1-213930

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