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J-GLOBAL ID：200903081017567549

ポジネガ型感光層

Inventor： マリオ・ピロ
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993001670
Publication number (International publication number)：1993273751
Application date： Jan. 08, 1993
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は広い反転温度幅、優れた焼成能、耐溶剤性および優れた貯蔵安定性および現像性を有する材料を提供する。【構成】 すなわち、本発明は4-および/または5-置換ジアゾ樹脂およびポリマー樹脂を含有する感光層が、更に分子量108以上のヒンダードフェノールまたはポリフェノールを含むことを特徴とする反転工程ではネガ型層として作用するポジ型感光層を提供する。

Claim (excerpt)：

4-および/または5-置換ジアゾ樹脂およびポリマー樹脂を含有する感光層が、更に分子量108以上のヒンダードフェノールまたはポリフェノールを含むことを特徴とする反転工程ではネガ型層として作用するポジ型感光層。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 515 ,  H01L 21/027