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J-GLOBAL ID：200903081017738254

液晶表示素子用カラ-フィルタの遮光層の作製法

Inventor： 北川 隆夫 ,  岩本 昌夫
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992074139
Publication number (International publication number)：1993273408
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】この発明は、露光部が可溶化する感光性樹脂で形成したパタ-ンに少なくとも可視光を遮光する材料を含むゾル-ゲル法組成物を充填した後、残存するポジ型感光性層を取除いてパタ-ン化された遮光層を形成方法である。【効果】簡便かつ高精度の遮光部位の形成が可能になり、カラ-フィルタの製造を容易にする。

Claim (excerpt)：

光透過性基材表面に、露光部分が可溶化するポジ型感光性樹脂層を塗布した後、フォトリソグラフィ法により露光・現像して所定のパタ-ンを形成し、ついで該基材上のパタ-ン形成部分に少なくとも可視光を吸収または散乱して遮光する材料をゾル-ゲル法による無機ガラス材料に分散した遮光層組成物を充填し、その後、全面に露光して残留するポジ型感光性樹脂層を可溶化して現像液で取除くか、あるいはレジスト剥離剤で取り除くことを特徴とする液晶表示素子用カラ-フィルタの遮光層の作製法。