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J-GLOBAL ID：200903081028036162

微小プローブ、その製造方法、該プローブを用いた表面観察装置及び情報処理装置

Inventor： 川瀬 俊光 ,  新庄 克彦 ,  高松 修 ,  畑中 勝則
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991193564
Publication number (International publication number)：1994042952
Application date： Jul. 09, 1991
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 製造時に酸化膜の形成、剛性の低下がなく、再現性よく尖鋭な先端を有する微小プローブが得られるようにする。【構成】 単結晶体の破片の破断面に対し異方性エッチングを施し、このエッチング面を含む3つの結晶面の集合点であるコーナーをプローブの先端とする。

Claim (excerpt)：

単結晶体の3つの結晶面の集合点として尖頭部が形成され、かつこの3つの結晶面のうち少なくとも1つの尖頭部付近がエッチング面であることを特徴とする微小プローブ。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  G11B 9/00