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J-GLOBAL ID：200903081097308085

被加工物用保持剤およびそれを用いた被加工物の脱着方法

Inventor： 笠崎 敏明 ,  清水 肇
Applicant, Patent owner： ニッタ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996019189
Publication number (International publication number)：1997208924
Application date： Feb. 05, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】被加工物を研磨時には高精度にしかも安定的に研磨機定盤に粘着固定し、研磨機定盤から剥離する際には容易に剥離ならしめ、しかも従来の有機溶剤や界面活性剤による洗浄を必要としない被加工物用保持剤および該保持剤を用いた被加工物の脱着方法を提供すること。【解決手段】約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を持つポリマーを含有するポリマー組成物から成る被加工物用保持剤。ポリマー組成物には、側鎖結晶可能ポリマーが、前記ポリマー組成物を室温以下の温度ではほぼ非粘着性に、またそれより上の温度では粘着性にするのに十分な量だけ存在する。

Claim (excerpt)：

約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を持つポリマーを含有するポリマー組成物から成る被加工物用保持剤。

IPC (3)：

C09J201/00 JAQ ,  B23Q 3/08 ,  B28D 7/04

FI (3)：

C09J201/00 JAQ ,  B23Q 3/08 Z ,  B28D 7/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-129282
  
• 特表平4-507425
  
• 特開昭62-252945